“致于”和“至于”的区别主要在于它们的词性、表达方式和用法。以下是具体的比较：
词性
至于：连词，用来连接两个分句，表示转折或补充说明。
致于：连词或动词，表示导致、致使的意思，用来连接原因和结果。
表达方式
至于：通常用于引出另一件事情，表示对前一件事的补充或转折。例如：“至于你的问题，我需要一些时间来考虑。”
致于：通常用于表示一件事情是由于另一件事情而导致的。例如：“因为小明平日间学习很用功，以致于成绩一直很好!”
用法
至于：可以用在句子中间，表示话题的转换。例如：“我们讨论了这个问题，至于解决方案，我们稍后再谈。”
致于：可以用在句子末尾，表示结果的因果关系。例如：“他因为疲劳过度，以致于在会议上睡着了。”
示例
至于：
“姐姐高考虽然不理想，但还不至于落榜。”
“我只写了个提纲，至于具体内容全靠你发挥了。”
致于：
“因为小明平日间学习很用功，以致于成绩一直很好!”
“他因为疲劳过度，以致于在会议上睡着了。”
通过以上分析，可以清楚地看到“致于”和“至于”在语义上的不同用法和表达方式，选择合适的词语可以使句子更加准确和流畅。